記事：プロセスルール


3nm

(2021.10.07 13:16)
サムスン、3nmプロセスチップを2022年前半に生産開始へ - CNET Japan
サムスンは、3nmプロセスのチップの製造を2022年前半に開始する計画

14nm DDR5メモリ

(2021.10.12 16:35)
Samsung Electronics、EUVを用いた14nmプロセスのDDR5メモリを量産開始 | マイナビニュース
韓国Samsung Electronicsは10月12日（現地時間）、極端紫外放射（EUV）リソグラフィを用いたDDR5メモリの量産開始を発表
プロセスルール
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